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本公开提供一种蚀刻制程气体分布器及其加工方法。加工方法包括：对蚀刻机台中放置第一晶圆，所述蚀刻机台的等离子发生器的下方设置有气体分布器，所述气体分布器具有多个筛孔；控制所述蚀刻机台运行，使所述等离子发生器对所述气体分布器喷射等离子体氧，以在...
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