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以少量的检查点数来推定概率性图案缺陷那样的缺陷的发生。为此，在本公开中，提出了一种系统以及计算机可读介质，其包括以下工序：取得或产生基于晶片上的多个测量点的测量数据而求出的与图案的边缘存在于第一位置的概率相关的第一数据；取得或产生在所述边缘...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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