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一种基于超薄掺杂金属/介质复合结构的电磁屏蔽曲面光学窗制造技术
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文档序号:28684827
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一种基于超薄掺杂金属/介质复合结构的电磁屏蔽曲面光学窗属于光学透明件电磁屏蔽领域。该曲面透明电磁屏蔽器件在曲面衬底上依次沉积介质膜和超薄金属薄膜形成复合结构,并利用共掺杂沉积方法在超薄厚度条件下得到表面连续、粗糙度极低的高质量掺杂金属膜,为...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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