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该发明涉及一种晶圆处理设备，能够有效隔断腔门内外两侧环境，提高晶圆的生产效率等。所述晶圆处理设备，包括处理晶圆的腔室，还包括：腔门，设置至所述腔室，能够相对所述腔室运动，用于根据所述晶圆处理设备的开关机状态进行开闭，以打开所述腔室，或封闭所...
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