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光检测元件和光检测装置制造方法及图纸
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文档序号:28635699
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一种光检测元件,具备:半导体基板、形成于半导体基板上的第一导电型的光吸收层、形成于光吸收层上的第一导电型的盖层,以及形成于盖层内,与盖层形成pn结的第二导电型的半导体区域。形成于半导体区域的周围的耗尽层,在不向pn结施加反方向偏置的情况下,...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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