下载鳍式场效应晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:28628977

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本发明提供了一种鳍式场效应晶体管及其制作方法。该鳍式场效应晶体管包括鳍部,鳍部设置在衬底的第一表面上,该鳍部包括:第一鳍段,设置在第一表面上;第二鳍段,设置在第一鳍段上且位于第一鳍段远离衬底的一侧;第一鳍段和第二鳍段一体设置,第一鳍段平行于...
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