下载多层结构的技术资料

文档序号:28628793

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本发明公开了一种多层结构,包括一衬底以及多个次叠层。次叠层分别沿着第一方向延伸,并沿着第二方向排列于衬底的一上表面上。各个次叠层包括沿着一第三方向交替叠层于上表面上的多个绝缘层以及多个图案化牺牲层、沿着第三方向与绝缘层交替叠层于上表面上的多...
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