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液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质制造方法及图纸
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文档序号:28628663
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本发明提供液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质。液体材料气化装置包括:控制阀(1),设置于材料流体所流通的流道,所述材料流体为液体材料或液体材料气化得到的材料气体;压力传感器(3),设置在比所述控制阀(1)更靠下游侧;流量传感器(2)...
该专利属于株式会社堀场STEC所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。
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