下载半导体器件处理方法的技术资料

文档序号:28628604

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种半导体器件处理方法,包括:提供一半导体器件,所述半导体器件具有相对的待蚀刻面和非蚀刻面;在所述非蚀刻面上形成保护层;将所述半导体器件置于承载装置上,使所述待蚀刻面朝上,并将所述半导体器件的边缘夹设于多个插销之间;旋转所述承载装...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。