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本发明公开了一种从衬底斜面边缘区域去除金属沉积物的方法，包括：在衬底的斜面边缘区域上沉积牺牲层；在至少牺牲层上沉积金属层；在牺牲层上至少蚀刻金属层；以及将衬底放置在具有湿蚀刻流体的湿蚀刻设备中，以去除所述衬底背面的所述牺牲层和所述牺牲层上的...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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