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本发明提供一种清洁用的制程制作方法和清洁方法，用于高效地将附着于腔室内的沉积物去除。清洁用的制程制作方法包括蚀刻工序、测定工序以及制作工序。在蚀刻工序中，按预先决定的多个温度和多个压力的每个组合，使用被供给至腔室内的清洁气体对层叠在被搬入腔...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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