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本发明涉及配管和处理装置。抑制配管的连接部分处的放电的产生。一种配管，其配置在具有电位差的两个导电性构件之间，使气体从一个所述导电性构件向另一个所述导电性构件流动，其中，该配管具备外筒、芯材以及高介电常数构件。芯材配置在外筒内，具有与外筒的...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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