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测试设备和测试方法技术
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下载测试设备和测试方法的技术资料
文档序号:28627904
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一种测试设备和测试方法,所述测试设备包括:检测接口装置,配置为容纳待测试半导体器件;信号采集装置,配置为采集至少一个脉冲信号;信号提供装置,配置为向待测试半导体器件提供具有可调的物理特征的至少一个脉冲信号;状态获取装置,配置为在检测接口装置...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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