下载一种用于晶圆测试的晶粒加权补偿计算方法的技术资料

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本发明涉及半导体测试技术领域,具体地说是一种用于晶圆测试的晶粒加权补偿计算方法。具体流程如下:S1:通过PMU初测方法,找出晶圆上有代表性的某个晶粒的补偿值;S2:找出补偿值后,使用“过‑不过”测试方法对剩下的晶粒做快速测试;S3:如果S2...
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