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用于集成电路量度的形态精确化制造技术
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下载用于集成电路量度的形态精确化的技术资料
文档序号:2861429
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本发明包括从一个测得信号来确定在集成电路内一个结构的形态的方法和系统,用一个量度装置测量来自该结构的信号,在一个形态数据空间中选择测量信号的最佳符合,该数据空间有具有指定非线性程度的数据点,并执行一个精确化程序以确定精确化形态参数,一个实施...
该专利属于音质技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过音质技术公司授权不得商用。
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