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本实用新型实施例提供了一种承载装置，包括：承载本体；固定部件，设置在承载本体上；在进行半导体工艺处理时，待处理的半导体部件通过固定部件固定在承载本体上；支撑部件，可伸缩地设置在固定部件和承载本体中；所述支撑部件的数量包括多个；多个支撑部件设...
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