下载用于散射测量叠对的高效照明成型的技术资料

文档序号:28567679

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本发明揭示一种多极照明系统,其可包含:照明源,其用于产生源光束;一或多个声光偏转器,其用于沿至少两个方向衍射所述源光束;一或多个收集透镜,其用于收集从所述一或多个声光偏转器衍射的所述光的至少部分;及控制器,其用于产生用于所述一或多个声光偏转...
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