用于散射测量叠对的高效照明成型制造技术

本发明专利技术揭示一种多极照明系统，其可包含：照明源，其用于产生源光束；一或多个声光偏转器，其用于沿至少两个方向衍射所述源光束；一或多个收集透镜，其用于收集从所述一或多个声光偏转器衍射的所述光的至少部分；及控制器，其用于产生用于所述一或多个声光偏转器的一或多个驱动信号。例如，所述一或多个驱动信号可引起所述一或多个声光偏转器产生两个或更多个照明光束的对称分布，所述照明光束由从所述一或多个声光偏转器衍射且由所述一或多个收集透镜收集的光形成，其中所述两个或更多个照明光束的波长及强度的分布在由第一方向及第二方向形成的平面中对称。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于散射测量叠对的高效照明成型相关申请案的交叉参考本申请案根据35U.S.C.§119(e)主张名叫安德鲁·希尔(AndrewHill)及德米特里·戈列里克(DmitryGorelik)的专利技术者在2018年10月17日申请的标题为“用于散射测量叠对的高效照明成型(EFFICIENTILLUMINATIONSHAPINGFORSCATTEROMETRYOVERLAY)”的第62/746,987号美国临时申请案的权利，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
本专利技术大体上涉及散射测量叠对系统，且更特定来说，本专利技术涉及散射测量叠对系统中的照明。
技术介绍
散射测量叠对度量系统通过比较由包含关注样本层上的堆叠光栅结构的叠对目标引起的相反衍射级的相对强度来确定样本层之间的叠对误差。例如，散射测量度量系统可以选定角将一或多个照明光束或照明极导引到样本。接着，可捕捉来自光栅结构衍射的光用于分析。通常期望使用具有窄带光谱的高光束质量的高功率照明极(例如高亮度照明)来照射样本以由光栅结构产生适合于准确分析的界限分明衍射图案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多极照明系统，其包括：/n照明源，其经配置以产生源光束；/n一或多个声光偏转器，其用于沿至少第一方向及不同于所述第一方向的第二方向衍射所述源光束；/n一或多个收集透镜，其用于从所述一或多个声光偏转器收集所述衍射光的至少部分；及/n控制器，其通信地耦合到所述一或多个声光偏转器，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令以引起所述一或多个处理器：/n产生用于所述一或多个声光偏转器的一或多个驱动信号，其中所述一或多个驱动信号引起所述一或多个声光偏转器产生两个或更多个照明光束的对称分布，所述照明光束由从所述一或多个声光偏转器衍射且由所述一或多个收集透镜收集的光形成，其...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181017 US 62/746,987;20190213 US 16/275,0851.一种多极照明系统，其包括：
照明源，其经配置以产生源光束；
一或多个声光偏转器，其用于沿至少第一方向及不同于所述第一方向的第二方向衍射所述源光束；
一或多个收集透镜，其用于从所述一或多个声光偏转器收集所述衍射光的至少部分；及
控制器，其通信地耦合到所述一或多个声光偏转器，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令以引起所述一或多个处理器：
产生用于所述一或多个声光偏转器的一或多个驱动信号，其中所述一或多个驱动信号引起所述一或多个声光偏转器产生两个或更多个照明光束的对称分布，所述照明光束由从所述一或多个声光偏转器衍射且由所述一或多个收集透镜收集的光形成，其中所述两个或更多个照明光束的波长及强度的分布在由所述第一方向及所述第二方向形成的平面中对称。


2.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述一或多个驱动信号引起所述一或多个声光偏转器同时产生所述两个或更多个照明光束。


3.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述一或多个驱动信号引起所述一或多个声光偏转器循序产生所述两个或更多个照明光束。


4.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述两个或更多个照明光束的所述对称分布是径向对称的。


5.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述两个或更多个照明光束的所述对称分布在由所述第一方向及所述第二方向形成的所述平面中相对于至少一个对称轴对称。


6.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述两个或更多个照明光束的所述对称分布相对于所述第一方向或所述第二方向的至少一个轴对称。


7.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述两个或更多个照明光束的强度可基于到所述第一声光偏转器及所述第二声光偏转器的所述一或多个驱动信号的强度来选择。


8.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述两个或更多个照明光束在由所述第一方向及所述第二方向形成的所述平面中的位置可基于到所述一或多个声光偏转器的所述一或多个驱动信号的频率来选择。


9.根据权利要求1所述的多极照明系统，其进一步包括：
一或多个孔隙，其用于阻挡由所述一或多个声光偏转器中的至少一者衍射的至少一些光。


10.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述两个或更多个照明光束的所述对称分布包括：
以双极分布布置的两个照明光束或以四极分布布置的四个照明光束中的至少一者。


11.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述一或多个声光偏转器由两个或更多个换能器及共同声介质形成。


12.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述一或多个声光偏转器中的至少一者以拉曼-奈斯配置定向以对称衍射光。


13.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述一或多个声光偏转器包括：
第一声光偏转器，其经定向以以拉曼-奈斯配置接收所述源光束以沿所述第一方向对称衍射光；及
第二声光偏转器，其经定向以以拉曼-奈斯配置从所述第一声光偏转器接收光以沿所述第二方向对称衍射光。


14.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述一或多个声光偏转器中的至少一者以布拉格配置定向。


15.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述一或多个声光偏转器包括：
第一声光偏转器，其经定向以以布拉格配置接收所述源光束；
第一孔隙，其用于选择性使从所述第一声光偏转器沿所述第一方向分布的+/-1衍射级通过；及
第二声光偏转器，其经定向以以布拉格配置从所述第一孔隙接收所述+/-1衍射级中的至少一者且沿所述第一方向衍射光，其中所述第二偏转器至少部分校正来自所述第一声光偏转器的不对称分散。


16.根据权利要求15所述的多极照明系统，其中所述一或多个声光偏转器进一步包括：
第三声光偏转器，其经定向以以布拉格配置沿所述第一方向接收所述衍射光且沿所述第二方向衍射所述光；
第二孔隙，其用于选择性使从所述第三声光偏转器沿所述第二方向分布的+/-1衍射级通过；及
第四声光偏转器，其经定向以以布拉格配置从所述第二孔隙接收所述+/-1衍射级且沿所述第二方向衍射光，其中所述第四声光偏转器至少部分校正来自所述第三偏转器的不对称分散。


17.根据权利要求1所述的多极照明系统，其中所述第二方向正交于所述第一方向。


18.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·V·希尔，D·戈列里克，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US