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处理室表面移除金属污染物制造技术
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文档序号:28567342
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一种用于清洁衬底处理室的表面的方法包含:a)供应第一气体,所述第一气体选自由下列各项所组成的群组:四氯化硅(SiCl...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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