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一种材料处理系统，包括：　　　　处理工具，其中处理工具包括至少一个处理室；　　　　多个耦合至处理工具的射频响应过程传感器，射频响应过程传感器被配置成可以为处理工具产生过程数据并发送过程数据；以及　　　　传感器接口组件（ＳＩＡ），配置成可以从...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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