下载麦克风封装工艺和麦克风封装结构的技术资料

文档序号:28548159

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本发明公开一种麦克风封装工艺和麦克风封装结构,所述麦克风封装工艺包括:在装片膜上开孔,形成通孔;将所述装片膜贴附于MEMS芯片,以使所述通孔与所述MEMS芯片的音孔对应;将所述MEMS芯片贴装于基板;将ASIC芯片贴装于所述基板;将封装壳体...
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