温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种MEMS传感器和应用该MEMS传感器的电子设备。其中，MEMS传感器包括外部封装结构、MEMS芯片、防水透气膜以及以及发热模块，外部封装结构的内部形成有收纳腔，外部封装结构开设有与收纳腔连通的透气孔；MEMS芯片设于收纳腔内，...
该专利属于潍坊歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊歌尔微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。