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基板处理装置和基板处理方法制造方法及图纸
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文档序号:28538543
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本发明涉及基板处理装置和基板处理方法。能够减少基板处理装置的动作且缩短基板处理所花费的时间。基板处理装置具备:保持部,保持基板;液供给部,对由保持部保持的状态下的基板的主表面按顺序供给第1处理液和不同于第1处理液的第2处理液;摩擦体,在第1...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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