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本发明公开了一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，装置包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；所述清洗机构用于喷...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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