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本发明提供一种用于半导体腔室的支撑装置及半导体设备，支撑装置包括固定结构、支撑结构和连接件，其中，固定结构用于与半导体腔室固定连接；支撑结构包括支撑主体和固定件，支撑主体设置在固定结构上，用于支撑进入半导体腔室中的待加工工件，固定件固定设置...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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