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本发明为一种提供低温差操作气体的方法，其适用于提供操作气体至气相沉积反应炉的气动驱动机构，反应炉包括一晶圆反应区以及一废热区。低温差操作气体方法包括下列步骤，首先提供反应炉；接着提供操作气体经过反应炉的废热区，令加热后的操作气体成为增温操作...
该专利属于苏州雨竹机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州雨竹机电有限公司授权不得商用。

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