下载一种半导体压腔控制装置和快速热处理装置的技术资料

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本实用新型提供一种半导体压腔控制装置和快速热处理装置,涉及半导体技术领域,包括增压装置、管路、粗调阀和精调阀;在管路的两端分别设置有相互连通的第一接口和第二接口,第一接口与增压装置连接,第二接口用于连接反应箱的半导体腔室;粗调阀和精调阀分别...
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