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垂直型非易失性存储器装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:28449666
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公开了垂直型非易失性存储器装置及其制造方法。所述垂直型非易失性存储器装置包括:基底,包括单元阵列区和延伸区,延伸区从单元阵列区沿第一方向延伸并且包括接触件;沟道结构,从基底沿竖直方向延伸;第一堆叠结构,包括沿着沟道结构的侧壁交替地堆叠的栅电...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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