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本发明涉及一种半导体系统及半导体工艺方法；包括：信号采集模块，用于采集半导体机台的状况；清洗处理模块，用于在半导体机台处于需要进行清洗处理的状况时自动对半导体机台的工艺腔室进行清洗处理；机况自动切换模块，用于在清洗处理后且符合机况切换条件时...
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