下载环境控制设备及芯片测试系统的技术资料

文档序号:28445762

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本发明公开一种环境控制设备及芯片测试系统。环境控制设备的设备本体具有多个容置室,各容置室设置有一个温度调节装置。各温度调节装置包含温度调节器、接触结构、框体及弹性环形密封件。当承载有多个芯片的芯片测试装置设置于容置室中,且接触结构与多个芯片...
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