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本发明涉及一种多层膜结构的声表面波谐振器及其制造方法，该谐振器包括：衬底、底部高声速层、底部氧化层、材料为单晶64°YX LiTaO...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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