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三维存储器及其制造方法技术
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文档序号:28426233
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本发明涉及半导体技术领域,公开了一种三维存储器及其制造方法。三维存储器包括:衬底;位于衬底上的包括多个块区域的堆叠结构,块区域包括沿平行于衬底的第一横向分布的核心区,及至少位于核心区一侧的阶梯区;设于至少两个相邻块区域之间且垂直贯穿堆叠结构...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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