下载存储器的制备方法及存储器的技术资料

文档序号:28426050

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本发明提供一种存储器的制备方法及存储器,涉及存储器技术领域,该存储器的制备方法包括提供基底;在基底上依次堆叠形成电极支撑结构、保护层和第一掩膜层;图形化位于阵列区上的第一掩膜层,以图形化后第一掩膜层作为掩膜版刻蚀保护层、电极支撑结构及基底,...
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