下载半导体存储器件的制造方法及半导体存储器件的技术资料

文档序号:28426022

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本发明公开了一种半导体存储器件的制造方法和半导体存储器件。本发明中,半导体存储器件的制造方法包括:提供基底以及位于基底上的功能层,功能层内具有至少一个贯穿功能层的第一沟槽;在第一沟槽的底部和侧壁形成第一掺杂多晶硅膜,且第一掺杂多晶硅膜围成第...
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