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一种基板湿处理装置及基板清洗方法，所述基板湿处理装置包含浸泡模块，设置在浸泡模块下游的喷除模块，可相对浸泡模块及喷除模块移动的进程机器，及连接进程机器的控制模块。浸泡模块包括用于装满溶液的浸泡槽，及至少部分浸泡在溶液中的浸泡支架。喷除模块包...
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