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本发明公开了一种CVD金刚石高真空光学窗装置，包括底座、连接件、压紧件、压紧组件、透光组件、金刚石光窗和真空设备固定孔，所述连接件设于底座上，所述压紧件设于连接件远离底座的一端，所述压紧组件一端设于压紧件上，所述压紧组件另一端设于底座上，所...
该专利属于湖州中芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖州中芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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