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一种硅片加工用除异味装置制造方法及图纸
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下载一种硅片加工用除异味装置的技术资料
文档序号:28331529
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本实用新型公开了一种硅片加工用除异味装置,包括除味箱、集气箱和引风机,集气箱位于除味箱的侧部,引风机的进风口与除味箱连接,引风机的出风口与集气箱连接;除味箱内腔的底部安装有电机,电机的转轴端部与涡轮扇叶连接,除味箱的内腔中设置有隔板,隔板位...
该专利属于固镒电子(芜湖)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过固镒电子(芜湖)有限公司授权不得商用。
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