下载一种硅片加工用除异味装置的技术资料

文档序号:28331529

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本实用新型公开了一种硅片加工用除异味装置,包括除味箱、集气箱和引风机,集气箱位于除味箱的侧部,引风机的进风口与除味箱连接,引风机的出风口与集气箱连接;除味箱内腔的底部安装有电机,电机的转轴端部与涡轮扇叶连接,除味箱的内腔中设置有隔板,隔板位...
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