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本发明提供了一种红外热电堆传感器的制造方法，包括基板以及形成在所述基板上的热敏电阻，其中在所述基板上形成所述热敏电阻的方法包括：提供基板；通过沉积工艺在所述基板上形成热敏电阻薄膜层；图形化所述热敏电阻薄膜层，形成所述热敏电阻；在所述热敏电阻...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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