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本发明公开一种硅片用石英舟及硅片放置方式，石英舟包括前后相对设置的前固定板与后固定板及设在两者之间的多个上安装柱与下安装柱，上安装柱与下安装柱一一对应设置；上安装柱与下安装柱上均设有卡槽，上安装柱上的卡槽与下安装柱上的卡槽一一对应设置，且上...
该专利属于赛姆柯(苏州)智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛姆柯(苏州)智能科技有限公司授权不得商用。

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