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本发明提供一种湿法刻蚀基台及湿法制程化学台，所述湿法刻蚀基台包括反应腔室、管路组件及静电导流件，所述管路组件包括刻蚀管及清洗管，所述刻蚀管用于向所述反应腔室通入刻蚀液；所述清洗管用于向所述反应腔室通入清洗液；所述静电导流件贴附于所述刻蚀管和...
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