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半导体结构及其形成方法技术
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文档序号:28298681
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本发明涉及一种半导体结构及其形成方法,所述形成方法包括:一种半导体结构的形成方法,其特征在于,包括:提供基底;在所述基底表面形成图形化牺牲层;在所述牺牲层侧壁表面形成第一侧墙;去除所述牺牲层;在相邻的所述第一侧墙之间填充第二侧墙,所述第二侧...
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