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公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许...
该专利属于西默有限公司;ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西默有限公司;ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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