温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了一种角度测量方法，适于对微动镜进行角度测量，所述方法包括：通过光源，向所述微动镜发射光束；通过光敏元件，测量从所述微动镜反射回来的所述反射光束，产生第一输出；关闭所述光源，测量所述光敏元件的第二输出；利用所述第二输出校正所述第一...
该专利属于上海禾赛科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海禾赛科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。