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本实用新型涉及CVD镀膜技术领域,且公开了一种CVD镀膜装置的衬底,包括衬底,所述衬底的前后两面均固定安装有凸起,所述衬底的外侧活动安装有第一夹板,所述第一夹板的一侧活动安装有第二夹板,所述第一夹板和第二夹板的顶部通过连接块固定连接,所述第...该专利属于昆山福钻新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山福钻新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及CVD镀膜技术领域,且公开了一种CVD镀膜装置的衬底,包括衬底,所述衬底的前后两面均固定安装有凸起,所述衬底的外侧活动安装有第一夹板,所述第一夹板的一侧活动安装有第二夹板,所述第一夹板和第二夹板的顶部通过连接块固定连接,所述第...