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本公开内容的实施方式一般涉及可扩展的基板检查系统。所述检查系统包括适于检查、检测或者测量基板的一种或多种特征(包括厚度、电阻率、锯痕、几何形状、污点、碎片、微裂纹以及晶体片段)的多个计量单元。检查系统可用于在处理基板之前辨识基板上的缺陷并估...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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