高速旋转分拣器制造技术

本公开内容的实施方式一般涉及可扩展的基板检查系统。所述检查系统包括适于检查、检测或者测量基板的一种或多种特征(包括厚度、电阻率、锯痕、几何形状、污点、碎片、微裂纹以及晶体片段)的多个计量单元。检查系统可用于在处理基板之前辨识基板上的缺陷并估计单元效率。可将基板传送通过检查系统和/或在轨道或输送装置上的计量单元之间传送，然后基于检查数据通过与高速旋转分拣装置耦接的至少一个夹持器分拣到相应仓中。旋转分拣装置维持每小时至少5400个基板的分拣能力。每个仓可任选地具有气体支撑垫，此气体支撑垫用于在基板从旋转分拣装置落入相应仓中时支撑基板。转分拣装置落入相应仓中时支撑基板。转分拣装置落入相应仓中时支撑基板。

【技术实现步骤摘要】
高速旋转分拣器
[0001]本申请是申请日为2016年4月5日、申请号为201680001403.5、专利技术名称为“高速旋转分拣器”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本公开内容的实施方式一般涉及半导体检查设备。更具体地，本文公开的实施方式涉及用于高速分拣基板的系统和方法。

技术介绍

[0003]基板如半导体基板在处理期间于独立检查站处受到常规检查，以确保符合预定的质量控制标准。不同的检查技术提供了关于产品和工艺的全面数据。然而，由于所需检查站的数量以及所导致的在所述检查站之间移动基板的传送时间的缘故，全面检查可能十分耗时，从而减少了产量。因此，设备制造商往往面临着在具有繁重检查/传送时间的彻底检查或者先前的某些检查过程之间进行选择决策。
[0004]典型的分拣系统在直线排列中每小时分拣大约3600个基板。然而，当检查过程已经持续缩短完成检查步骤的时间量时，需要能够跟得上更快速分拣的分拣装置来提高产量。
[0005]如先前所说明，存在着对以更快的速度分拣检查后的基板并且允许实现更高产量的改进基板检查系统的需求。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检查和分拣多个基板的装置，所述装置包括：分拣单元；可旋转支撑件，所述可旋转支撑件设置在所述分拣单元内，所述可旋转支撑件能够绕旋转轴旋转；多个臂，每个臂具有耦接至所述可旋转支撑件的第一端和从所述可旋转支撑件相对于所述旋转轴径向向外延伸的第二端；至少一个夹持器，所述至少一个夹持器耦接至每个臂的所述第二端；多个仓，所述多个仓位于所述分拣单元内，且位于所述至少一个夹持器随着所述可旋转支撑件旋转而行进所沿的路径下方；以及多个气体出口，所述多个气体出口的至少第一气体出口经定位以分配气体，以利用所述多个仓中的第一仓来提供支撑垫，所述支撑垫足以向从所述多个夹持器释放并落入所述第一仓中的基板提供阻力。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个气体出口的所述第一气体出口位于所述第一仓的壁中。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个气体出口的所述第一气体出口提供加压空气。4.根据权利要求1所述的装置，进一步包括与计量单元耦接的装载单元，其中所述计量单元与所述分拣单元耦接。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个仓被定位成接收由所述至少一个夹持器释放的基板。6.根据权利要求1所述的装置，其中所述气体是空气。7.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个仓能够从所述分拣单元外部单独去除。8.根据权利要求7所述的装置，其中所述多个仓能够在分拣正在发生时被单独去除。9.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个仓能够在分拣正在发生时被单独去除。10.根据权利要求1所述的装置，还包括控制器，其中所述控制器包括存储有指令的计算机可读介质，所述指令当由处理器执行时使得所述控制器通过执行以下步骤对所述多个基板进行分拣：用所述分拣模块的至少一个夹持器保持所述基板；围绕所述分拣单元的中心轴将由所述至少一个夹持器保持的所述基板旋转到分配给所述基板的所述分拣仓上方的位置；以及将所述基板从所述至少一个夹持器释放到所分配的所述分拣仓中。11.一种适合于检查和分拣基板的装置，所述装置包括：装载单元；计量单元，所述计量单元与所述装载单元耦接；以及分拣单元，所述分拣单元与所述计量单元耦接，其中所述分拣单元包括：多个臂，...

【专利技术属性】
技术研发人员：马库斯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：