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一种基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统，涉及激光微纳加工领域。基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统包括用于发射激光的激光器、用于对激光进行扩束准直的激光光线照射构件、用于支撑加工物的基片及用于接收激光光线照射构件扩束准直激...
该专利属于武汉理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉理工大学授权不得商用。

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