基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统技术方案

一种基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统，涉及激光微纳加工领域。基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统包括用于发射激光的激光器、用于对激光进行扩束准直的激光光线照射构件、用于支撑加工物的基片及用于接收激光光线照射构件扩束准直激光并引导至加工物的多边形扫描转镜系统，多边形扫描转镜系统包括用于反射激光光线照射构件扩束准直激光的第一扫描振镜、用于反射第一扫描振镜反射激光的第二扫描振镜、用于将第二扫描振镜反射的激光反射至加工物表面的多面镜及用于驱动多面镜旋转的驱动电机。基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统能够满足不同情况下激光加工的要求，对加工物进行超快激光高速微纳加工。快激光高速微纳加工。快激光高速微纳加工。

【技术实现步骤摘要】
基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统


[0001]本申请涉及激光微纳加工领域，具体而言，涉及一种基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统。

技术介绍

[0002]超快激光通常指脉冲宽度短于百皮秒的激光，超快激光微纳加工涉及超快激光技术、显微技术、超高精度定位技术、图形技术、光电材料技术等众多高精尖技术。超快激光微纳加工即通过进行多光子吸收使得原本对光透明的材料发生强烈光吸收，使得激光不仅可以在材料表面加工，同时可以进行内部三维微加工，并且多光子吸收的非线性过程使得其可以进行超越衍射极限的精密加工。超快激光微纳加工具备如下优点：超快激光脉冲脉宽可以抑制激光作用区周围热影响区形成实现高质量微加工；使用超快激光，在等离子体形成前激光辐射结束，提高了加工效率；产生多光子吸收可以对透明材料进行加工和内部改性，并且可以实现亚衍射极限的空间分辨率；加工中不需要掩膜版，通过转镜配合使激光焦点在样品上扫描即可得到三维扫描结构；加工环境条件无需传统微纳加工所需的真空环境。
[0003]虽然超快激光微纳加工相比较其他精密加工技术具有显著优点，但是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统，其特征在于，其包括用于发射激光的激光器、用于对激光进行扩束准直的激光光线照射构件、用于支撑加工物的基片及用于接收所述激光光线照射构件扩束准直激光并引导至所述加工物的多边形扫描转镜系统，所述多边形扫描转镜系统包括用于反射所述激光光线照射构件扩束准直激光的第一扫描振镜、用于反射所述第一扫描振镜反射激光的第二扫描振镜、用于将所述第二扫描振镜反射的激光反射至所述加工物表面的多面镜及用于驱动所述多面镜旋转的驱动电机。2.根据权利要求1所述的基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统，其特征在于，所述基片的底部还连接有平台，所述平台被配置成可沿垂直于所述多面镜反射激光方向移动。3.根据权利要求1所述的基于多边形扫描转镜的超...

【专利技术属性】
技术研发人员：王学文，孙楷理，冯宇哲，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：