下载一种具有POI结构的兰姆波谐振器的技术资料

文档序号:28207890

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本发明提供了一种具有POI结构的兰姆波谐振器。兰姆波谐振器可包括:高声速材料衬底;以及位于所述高声速材料衬底上方的压电层,所述压电层的上表面和下表面上分别设置有第一和第二叉指换能器,其中所述第一和第二叉指换能器的叉指电极隔着所述压电层在层叠...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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