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本发明公开了一种形成可灰化硬遮罩的方法及图案化方法。形成可灰化硬遮罩的方法包括(i)提供标的层；(ii)在标的层上沉积初始硬遮罩层；(iii)在400至700℃的植入温度下，将碳原子植入初始硬遮罩层中以形成可灰化硬遮罩，其中可灰化硬遮罩中的...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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